3D硅堆疊
3D硅堆疊
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3D堆疊技術(shù)是把不同功能的芯片或結(jié)構(gòu),通過堆疊技術(shù)或過孔互連等微機械加工技術(shù),使其在Z軸方向上形成立體集成、信號連通及圓片級、芯片級、硅帽封裝等封裝和可靠性技術(shù)為目標(biāo)的三維立體堆疊加工技術(shù)。該技術(shù)用于微系統(tǒng)集成,是繼片上系統(tǒng)(SOC)、多芯片模塊(MCM)之后發(fā)展起來的系統(tǒng)級封裝的先進(jìn)制造技術(shù)。
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