MEMS反射鏡
MEMS反射鏡
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一種芯片級激光雷達(光探測和測距)系統(tǒng),光學(xué)組件和激光雷達平臺.該系統(tǒng)包括光子芯片,與光子芯片相關(guān)聯(lián)的激光器,光循環(huán)器以及MEMS掃描儀.激光器,光循環(huán)器和MEMS掃描儀是共線的.光子芯片包括邊緣耦合器.光學(xué)組件包括外殼和外殼內(nèi)的平臺,該外殼具有孔.該平臺包括激光器,光循環(huán)器和MEMS掃描儀.
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