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不用EUV光刻機也能造5nm芯片?鎧俠攜手NDP與佳能力推NIL技術
是的,不用EUV光刻機也能造5nm芯片,這得益于鎧俠攜手NDP(大日本印刷株式會社)與佳能共同力推的NIL(納米壓印微影)技術。技術背景與優(yōu)勢EUV光刻機問題:在半導體制程技術進入5nm節(jié)點后,EUV光刻機成為了不可或缺的關鍵設備。然而,EUV光刻機造價高昂(每臺價格超過1億美元),且僅荷蘭ASML一家能夠生產供應,產能有限,導致芯片生產......
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2021-10-26
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