摘要真空度傳感器是一種用于測(cè)量和監(jiān)控真空環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備。本文將從以下四個(gè)方面對(duì)真空度傳感器進(jìn)行詳細(xì)闡述：工作原理、應(yīng)用領(lǐng)域、技術(shù)發(fā)展和未來(lái)趨勢(shì)。一、工作原理真空度傳感器通過(guò)測(cè)量氣體壓力或其他相關(guān)參數(shù)來(lái)確定真空環(huán)境的狀態(tài)。常見(jiàn)的工作原理包括熱導(dǎo)法、冷陰極離子化法和微波共振法等。其中，熱導(dǎo)法利用氣體熱導(dǎo)率與壓力之間的關(guān)系進(jìn)行測(cè)量，冷陰極離子化......