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PVD的概述、PVD的工藝流程、在微電子領域中的應用、發(fā)展趨勢
摘要內容一、PVD的概述PVD（Physical Vapor Deposition）是一種常用的薄膜制備技術，通過物理手段將固態(tài)材料轉化為氣態(tài)，然后在基底表面沉積形成薄膜。PVD技術具有高純度、均勻性好、附著力強等優(yōu)點，在微電子、光學和材料科學領域得到廣泛應用。PVD技術主要包括物理氣相沉積（Physical Vapor Depositi......
PVD
2023-11-01
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