本發(fā)明提供了沉積材料的方法,該方法包括:在襯底上形成第一材料期間,在沉積腔室的表面上形成第一層,第一層包含第一材料并具有突出物;在形成第一材料之后調(diào)節(jié)沉積腔室,所述調(diào)節(jié)在第一材料和突出物的上方形成第二層,第二層包含第二材料,第二材料不同于第一材料,其中,第二層阻止突出物從第一層脫落;在第二層上形成第三層,第三層包含第三材料;以及在形成第三層之后調(diào)節(jié)沉積腔室,在形成第三層之后調(diào)節(jié)沉積腔室的步驟在第三材料上方形成第四層,第四層包含第四材料,第四材料不同于第三材料.