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真空組件
真空組件
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所公開的主題包括與真空和真空組件有關(guān)的設(shè)備和方法.在一些方面中,方法和設(shè)備涉及一種真空組件,該真空組件包括限定排空后的真空室的本體,在真空室和本體的外部之間延伸的本體中的管道,至少部分堵塞管道的塞子,以及從本體的外部密封真空室的塞子和本體之間的密封件.