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單片濕式工藝設(shè)備
單片濕式工藝設(shè)備
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本發(fā)明提供一種單片晶圓濕式處理設(shè)備及處理方法,設(shè)備包括支撐組件,支撐組件包括用于支撐晶圓的支撐部以及設(shè)置在支撐部的邊緣區(qū)域的外圍用于固定晶圓的保持部,支撐部具有邊緣區(qū)域及中間凹陷區(qū)域,支撐部上設(shè)置有能夠在支撐部的上方形成多個(gè)氣體頂針的多個(gè)氣體通道,多個(gè)所述氣體頂針能夠?qū)⒎胖迷谒鲋尾可戏接伤霰３植抗潭ǖ木A托起.并且晶圓下表面完全處于氣體氛圍中這樣在支撐組件高速旋轉(zhuǎn)時(shí),可以避免晶圓的中間區(qū)域凹陷,從而避免造成晶圓的圓環(huán)缺陷.氣體頂針的形成還能夠避免蒸汽在晶圓表面凝結(jié),進(jìn)而避免產(chǎn)生晶圓表面的中心圓形缺陷.本發(fā)明提供的單片晶圓濕式處理方法采用上述處理設(shè)備,同樣具備相同技術(shù)效果.

打破國(guó)外壟斷，科翰龍自研晶圓打碼機(jī) WM-SC800R 正式通過(guò)驗(yàn)收
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科翰龍自主研發(fā)的晶圓打碼機(jī)WM-SC800R正式通過(guò)驗(yàn)收，這一成就標(biāo)志著國(guó)內(nèi)在晶圓打碼設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了對(duì)國(guó)外壟斷的突破。以下是對(duì)該事件的詳細(xì)分析：一、事件背景晶圓打碼設(shè)備是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備之一，用于在晶圓上標(biāo)記唯一識(shí)別碼（Wafer ID），以便于后續(xù)的追蹤和管理。長(zhǎng)期以來(lái)，這一領(lǐng)域的技術(shù)和設(shè)備主要由國(guó)外廠商壟斷，國(guó)內(nèi)企業(yè)面臨著技......
激光打碼... 單片濕式... 激光器
2021-09-01
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