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薄膜沉積設備
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本發(fā)明提供了一種APF薄膜沉積設備以及APF薄膜沉積通氣方法.本發(fā)明的APF薄膜沉積設備包括:供氣鋼瓶,冷凝管以及氣體板;其中,供氣鋼瓶中包含乙炔和丙酮,而且供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板通入氣體.在本發(fā)明中,利用包含乙炔和丙酮的供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板供氣,其中冷凝管過濾掉被揮發(fā)出來丙酮蒸汽,使得經(jīng)由冷凝管進入氣體板的氣體的乙炔純度相對于供氣鋼瓶更高.

總投資20億元！萬業(yè)企業(yè)攜手寧波芯恩打造國內(nèi)集成電路設備龍頭
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刻蝕設備 尾氣處理... 薄膜沉積...
2021-12-27
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