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MEMS技術(shù)基礎(chǔ)有哪些?再談MEMS封裝技術(shù)

來源: 21ic
2021-02-23
類別:基礎(chǔ)知識
eye 17
文章創(chuàng)建人 拍明

原標題:MEMS技術(shù)基礎(chǔ)有哪些?再談MEMS封裝技術(shù)

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)即微機電系統(tǒng),是集微機械結(jié)構(gòu)、電子電路、微執(zhí)行器、通訊等于一體的可批量制作的微型器件或系統(tǒng)。關(guān)于MEMS的四大類型代工廠,以及高通在MEMS封裝方面的技術(shù),以下進行詳細介紹:

MEMS的四大類型代工廠

MEMS代工工廠大致可分為以下四個類型:

  1. 向硅晶圓代工廠提供MEMS代工服務(wù):這類工廠專注于為硅晶圓代工提供MEMS相關(guān)的制造服務(wù)。

  2. OEM供應(yīng)商的MEMS代工廠:OEM(Original Equipment Manufacturer)即原始設(shè)備制造商,這類MEMS代工廠主要服務(wù)于OEM供應(yīng)商,為其生產(chǎn)MEMS器件。

  3. IDM的MEMS代工廠:IDM(Integrated Device Manufacturer)即集成設(shè)備制造商,這類代工廠通常擁有自己的設(shè)計和制造能力,同時也為其他公司提供MEMS代工服務(wù)。然而,IDM代工廠在知識產(chǎn)權(quán)安全方面一直存在挑戰(zhàn)。

  4. 純MEMS代工廠:這類工廠專注于MEMS制造,可以同時處理多種工藝和多個客戶,是最具變通性的模式。

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高通在MEMS封裝方面的技術(shù)

高通作為半導(dǎo)體行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè),在MEMS封裝技術(shù)方面也取得了顯著進展。以下是對高通MEMS封裝技術(shù)的介紹:

  1. 封裝技術(shù)概述

    • MEMS封裝技術(shù)是在微電子IC集成電路封裝的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,但它具有自己的一些基本特點和要求。

    • MEMS封裝需要考慮熱、應(yīng)力、氣密性、可靠性、信號傳輸?shù)纫蛩?,因此設(shè)計封裝時不能簡單地用微電子IC封裝技術(shù)直接封裝MEMS器件。

  2. 高通MEMS封裝技術(shù)的特點

    • 高通在MEMS封裝方面采用了先進的材料和工藝,以確保器件的可靠性和性能。

    • 其封裝技術(shù)能夠保護MEMS器件免受外部環(huán)境的影響,同時提供穩(wěn)定的電信號連接和機械支撐。

  3. 高通MEMS封裝技術(shù)的創(chuàng)新

    • 高通在MEMS封裝方面不斷創(chuàng)新,以提高器件的集成度和性能。

    • 例如,高通可能采用晶圓級封裝技術(shù),將MEMS器件制造過程中未完成的芯片保護起來,以便于后續(xù)的加工和測試。

    • 此外,高通還可能采用先進的鍵合工藝和封裝材料,以提高器件的氣密性和可靠性。

  4. 高通MEMS封裝技術(shù)的應(yīng)用

    • 高通的MEMS封裝技術(shù)廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域,如航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控和軍事等。

    • 這些應(yīng)用要求MEMS器件具有高精度、高可靠性和長壽命等特點,而高通的封裝技術(shù)正是滿足這些要求的關(guān)鍵。

綜上所述,MEMS的四大類型代工廠各具特色,而高通在MEMS封裝技術(shù)方面取得了顯著進展,其先進的封裝技術(shù)和創(chuàng)新的應(yīng)用為MEMS器件的可靠性和性能提供了有力保障。


責(zé)任編輯:David

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