原標題：國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備出機中芯國際，面向 300mm（12 英寸）硅片工藝制程

國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（CD-SEM）已成功出機給中芯國際，這臺設(shè)備面向300mm（12英寸）硅片工藝制程，具有里程碑式的意義。以下是對該事件的詳細分析：

一、設(shè)備詳情

• 型號：SEpA-c410

• 制造商：東方晶源

• 面向工藝制程：300mm（12英寸）硅片工藝制程

• 技術(shù)特點：通過先進的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案，搭配精準的量測算法，可實現(xiàn)高重復(fù)精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測。

二、合作背景與意義

• 合作雙方：東方晶源與中芯國際

• 合作意義：

• 對于東方晶源來說，此次合作標志著其在芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的良率控制和提升領(lǐng)域取得了重大技術(shù)突破，填補了國產(chǎn)關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備的市場空白。這有助于東方晶源進一步打開國內(nèi)市場，提高營收，并促進產(chǎn)業(yè)鏈條的調(diào)整、升級和完善。

• 對于中芯國際來說，獲得國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備有助于其實現(xiàn)技術(shù)去美化，緩解在芯片制造過程中被國外技術(shù)“卡脖子”的壓力。同時，這也將提升中芯國際在芯片制造領(lǐng)域的競爭力，為其生產(chǎn)高良品率的芯片提供有力支持。

• 對于我國半導(dǎo)體行業(yè)來說，東方晶源成功打破技術(shù)瓶頸，制備出國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸測量設(shè)備，彌補了我國在芯片代工檢測環(huán)節(jié)中的空白，為國產(chǎn)半導(dǎo)體供給鏈增添了一份力量。

三、設(shè)備應(yīng)用與影響

• 應(yīng)用環(huán)節(jié)：關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備在芯片制造過程中起著至關(guān)重要的作用。它能夠?qū)τ行е瞥绦ЯΨ秶鷥?nèi)的各項環(huán)節(jié)進行工藝評定，如薄膜厚度是否符合制程標準、芯片在完成刻蝕流程環(huán)節(jié)后是否會影響硅片電性參數(shù)等。

• 影響：

• 提升芯片制造良率：通過精準的關(guān)鍵尺寸量測，可以及時發(fā)現(xiàn)并糾正制造過程中的問題，從而提升芯片制造的良率。

• 促進技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級：東方晶源的成功經(jīng)驗將激勵更多國內(nèi)企業(yè)投入研發(fā)，推動半導(dǎo)體制造技術(shù)的創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級。

• 增強國際競爭力：隨著國產(chǎn)關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備的不斷成熟和完善，我國半導(dǎo)體行業(yè)在國際市場上的競爭力將得到進一步提升。

綜上所述，國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備出機中芯國際是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項重要里程碑事件。它不僅標志著我國在芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)升級，還將為中芯國際等國內(nèi)芯片制造商提供有力支持，推動我國半導(dǎo)體行業(yè)在國際市場上取得更大的成功。