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英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議,將批量購買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機(jī)

來源: 中電網(wǎng)
2021-01-25
類別:業(yè)界動態(tài)
eye 6
文章創(chuàng)建人 拍明

原標(biāo)題:英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議,將批量購買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機(jī)

英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議,批量購買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機(jī),這一合作對雙方都具有重要意義。以下是對該事件的詳細(xì)分析:

一、合作背景

  1. 英諾賽科簡介

    • 英諾賽科科技有限公司成立于2015年12月,是一家致力于第三代半導(dǎo)體硅基氮化鎵芯片制造的企業(yè)。

    • 公司成功建成投產(chǎn)全球首條200mm硅基氮化鎵晶圓與功率器件量產(chǎn)生產(chǎn)線,主要產(chǎn)品包括200mm硅基氮化鎵晶圓及30V-650V氮化鎵功率器件。

  2. ASML簡介

    • ASML是全球芯片制造設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)廠商,其生產(chǎn)的XT400和XT860的i-line和KrF光刻機(jī)經(jīng)過升級,能夠在硅基晶圓上制造氮化鎵功率器件。

    • ASML的i-line和KrF光刻機(jī)憑借其獨特的TWINSCAN(雙工件臺)架構(gòu),能提供最卓越的性能、市場上最高的生產(chǎn)效率以及最低的成本。

二、合作協(xié)議內(nèi)容

  1. 合作目的

    • 英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議,旨在批量購買高產(chǎn)能的i-line和KrF光刻機(jī),用于制造先進(jìn)的硅基氮化鎵功率器件。

  2. 合作時間

    • 該合作協(xié)議在2021年1月21日正式簽署。

  3. 合作成果

    • 英諾賽科在2021年第二季度成功搬入首批光刻機(jī),并實現(xiàn)了試生產(chǎn)和正式量產(chǎn)。

    • 這一合作標(biāo)志著第三代半導(dǎo)體制造技術(shù)正式進(jìn)入了一個全新的紀(jì)元,英諾賽科成為全球首家在200mm晶圓生產(chǎn)線上應(yīng)用ASML TWINSCAN(雙工件臺)光刻技術(shù)的企業(yè)。

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三、合作意義

  1. 對英諾賽科的意義

    • 提升了英諾賽科的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,加快了產(chǎn)品推向市場的速度。

    • 助力英諾賽科在氮化鎵半導(dǎo)體行業(yè)中的蓬勃發(fā)展,提高了其市場競爭力。

  2. 對ASML的意義

    • 擴(kuò)大了ASML在硅基氮化鎵市場的份額,展示了其光刻機(jī)在第三代半導(dǎo)體制造中的優(yōu)勢。

    • 增強(qiáng)了ASML與中國企業(yè)的合作關(guān)系,為其在中國市場的發(fā)展奠定了堅實基礎(chǔ)。

四、未來展望

  1. 英諾賽科的發(fā)展

    • 英諾賽科將繼續(xù)致力于第三代半導(dǎo)體硅基氮化鎵芯片的研發(fā)和生產(chǎn),擴(kuò)大產(chǎn)能和產(chǎn)品線。

    • 預(yù)計英諾賽科在全球氮化鎵廠商中的市占率將持續(xù)攀升,有望成為全球領(lǐng)先的氮化鎵芯片制造商之一。

  2. ASML的發(fā)展

    • ASML將繼續(xù)投入研發(fā)和創(chuàng)新,提升光刻機(jī)的性能和效率。

    • ASML將加強(qiáng)與全球芯片制造商的合作,共同推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

綜上所述,英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議并批量購買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機(jī),對雙方都具有重要意義。這一合作不僅提升了英諾賽科的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,也擴(kuò)大了ASML在硅基氮化鎵市場的份額。未來,雙方將繼續(xù)攜手共進(jìn),共同推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。


責(zé)任編輯:David

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標(biāo)簽: 光刻機(jī)

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