原標(biāo)題：國內(nèi)首創(chuàng)，京儀裝備研發(fā)出高速集成電路制造晶圓倒片機，可用于 14nm 制造

京儀裝備研發(fā)出國內(nèi)首創(chuàng)的高速集成電路制造晶圓倒片機，可用于14納米集成電路制造。

一、研發(fā)背景

在集成電路制造領(lǐng)域，晶圓倒片機是調(diào)整晶圓生產(chǎn)材料序列位置的關(guān)鍵設(shè)備。長期以來，高速晶圓倒片機主要依賴進口，限制了國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。為了打破這一局面，北京京儀自動化裝備技術(shù)有限公司（簡稱“京儀裝備”）經(jīng)過多年技術(shù)積累和攻關(guān)，成功研發(fā)出了國內(nèi)首創(chuàng)的高速集成電路制造晶圓倒片機。

二、設(shè)備特點

1. 高速倒片：京儀裝備研發(fā)的高速晶圓倒片機每小時倒片速度超過300片，達(dá)到了國際先進水平。這一速度遠(yuǎn)高于國內(nèi)同類設(shè)備，顯著提升了生產(chǎn)效率。

2. 高精度：設(shè)備采用先進的控制技術(shù)和機械結(jié)構(gòu)，確保晶圓在倒片過程中的高精度定位和對齊，避免了晶圓破損和污染。

3. 高潔凈度：晶圓倒片機內(nèi)部設(shè)計有微環(huán)境，保證了倒片過程的潔凈要求，適用于14納米及更高制程的集成電路制造。

4. 智能化：設(shè)備具備與集成電路制造廠MES（生產(chǎn)管理系統(tǒng)）等工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)的鏈接能力，便于實現(xiàn)一體化調(diào)控和智能化管理。

三、技術(shù)創(chuàng)新

1. 直線電機應(yīng)用：京儀裝備將直線電機應(yīng)用于晶圓倒片機中，實現(xiàn)了高速、精準(zhǔn)的運動控制，提高了倒片效率。

2. 雙手臂設(shè)計：設(shè)備采用雙手臂設(shè)計，省去了晶圓翻轉(zhuǎn)過程，進一步提高了倒片速度和生產(chǎn)效率。

3. 特種材料應(yīng)用：在倒片手臂的晶圓接觸點，京儀裝備選取了特種材料，避免了真空裝置工作中易產(chǎn)生顆粒物吸附的問題，保證了高潔凈度要求。

四、應(yīng)用前景

京儀裝備研發(fā)的高速集成電路制造晶圓倒片機已成功應(yīng)用于14納米集成電路制造，打破了國際壟斷，提升了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新能力。該設(shè)備的成功研發(fā)，不僅滿足了國內(nèi)集成電路制造企業(yè)的需求，也為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了有力支撐。

五、市場反饋

京儀裝備研發(fā)的高速晶圓倒片機自推出以來，受到了市場的廣泛關(guān)注和好評。目前，該設(shè)備已在國內(nèi)多家集成電路制造企業(yè)得到應(yīng)用，并取得了顯著的經(jīng)濟效益和社會效益。

六、總結(jié)

京儀裝備研發(fā)的高速集成電路制造晶圓倒片機是國內(nèi)首創(chuàng)的高性能設(shè)備，具有高速、高精度、高潔凈度和智能化等特點。該設(shè)備的成功研發(fā)和應(yīng)用，打破了國際壟斷，提升了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新能力，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了新的活力。