與非網(wǎng) 12 月 19 日訊，晶圓是集成電路中不可或缺的材料，在其后期制作工藝過程中需要保持高潔凈度。 近日，位于北京經(jīng)開區(qū)的北京京儀自動化裝備技術(shù)有限公司（以下簡稱“京儀裝備”），成功研發(fā)出國內(nèi)首臺晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機，破解了國產(chǎn)晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機自動化難題。 圖源：北京亦莊 晶圓倒片機是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進行下一道程序， 這就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和潔凈程度。 晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機是一項難度極高的工藝，用力過猛容易導(dǎo)致晶圓表面破損，力度太小晶圓則會自動脫落，加之晶圓表面的高精密性，倒片機只能夾住晶圓的兩邊進行自動翻轉(zhuǎn)，這就給自動翻轉(zhuǎn)倒片機的研發(fā)帶來了難題。