1、氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器的工作原理？質(zhì)量流量計(jì)1什么是質(zhì)量流量計(jì)：質(zhì)量流量計(jì)，英文Mass Flow Meter（簡稱MFM），用來快速、精確測量過程氣體流量大小的精密傳感器。這里講的質(zhì)量流量計(jì)主要應(yīng)用于低壓、小流量的單一或混合氣體，低壓一般在3Mpa；流量范圍一般為：0.1sccm-5000slpm；單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等，......