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MEMS電容傳感元件
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電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，將被測轉(zhuǎn)物理量或機械量換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置，實際上就是一個具有可變參數(shù)的電容器。電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動、速度、壓力、成分分析、介質(zhì)特性等方面的測量。最常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器。