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GAA架構
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GAA(Gate-all-around)架構是周邊環(huán)繞著Gate 的FinFET 架構。照專家觀點,GAA 架構的晶體管提供比FinFET 更好的靜電特性,可滿足某些柵極寬度的需求。這主要表現(xiàn)在同等尺寸結構下,GAA 的溝道控制能力強化,尺寸進一步微縮更有可能性。相較傳統(tǒng)FinFET 溝道僅3 面被柵極包覆,GAA 若以納米線溝道設計為例,溝道整個外輪廓都被柵極完全包裹,代表柵極對溝道的控制性更好。