本發(fā)明公開了照射裝置及半導(dǎo)體器件制造方法,所述照射裝置包括:激光源;偏振分光部,用于把從激光源出射的激光分成偏振方向彼此不同的第一線偏振光和第二線偏振光;光束分割部,用于將第一線偏振光或第二線偏振光分割成多條光束;四分之一波片陣列,其由用于把所述光束的一部分轉(zhuǎn)換成右旋圓偏振光的多個第一四分之一波片和用于把所述光束的另一部分轉(zhuǎn)換成左旋圓偏振光的多個第二四分之一波片構(gòu)成,所述第一四分之一波片和所述第二四分之一波片在垂直于光軸的第一方向上交替地布置著;以及投影光學(xué)系統(tǒng),用于把所述右旋圓偏振光和所述左旋圓偏振光聚集到被照射的照射面上.本發(fā)明能夠?qū)⒕哂芯鶆驈姸确植嫉募す馐丈渲琳丈涿嫔?