靜電懸浮加速度計(jì)為當(dāng)前國(guó)際上精度最高的一類加速度計(jì),本文的設(shè)計(jì)目標(biāo)為:量程12.5μgn,靈敏度1 ngn,帶寬0.1 Hz.從靜電懸浮加速度計(jì)的敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)出發(fā),詳細(xì)地論述了該類加速度計(jì)的電容位移檢測(cè)原理和微弱加速度檢測(cè)原理.通過適當(dāng)?shù)碾姌O配置設(shè)計(jì),并對(duì)六路差分電容輸出進(jìn)行適當(dāng)?shù)木€性組合,探討了該加速度計(jì)的六軸檢測(cè)功能(三個(gè)線加速度和三個(gè)角加速度).隨后對(duì)該加速度計(jì)的靜電懸浮支承系統(tǒng)進(jìn)行了振動(dòng)學(xué)分析,采用1atm的空氣阻尼,得出系統(tǒng)的阻尼振動(dòng)頻率為0.825 Hz,輸出采樣間隔為4 s.本文的設(shè)計(jì)對(duì)研制高精度多軸加速度計(jì)具有重要參考價(jià)值.