制程排氣系統(tǒng)是指鐵（氟）弗龍風(fēng)管排氣系統(tǒng)風(fēng)管工程中，由制程機(jī)臺(tái)至主管支管（Sub-main）間之連接風(fēng)管，統(tǒng)稱二次配排氣風(fēng)管（Exhaust Hook-up Ducting）工程；其主要是將制程機(jī)臺(tái)所產(chǎn)生之各種廢氣（例如酸堿性廢氣、揮發(fā)性有機(jī)廢氣、一般性廢氣等等）經(jīng)由二次配排氣風(fēng)管排至排氣支管、主風(fēng)管等再導(dǎo)入廢氣處理設(shè)備處理，處理后廢氣再排放至大氣中的整個(gè)排氣系統(tǒng)過(guò)程。