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壓電式麥克風
壓電式麥克風
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本發(fā)明公開了一種壓電式麥克風,包括:襯底;設置在所述襯底上的壓電振膜,所述壓電振膜與所述襯底之間形成有懸空腔;設置在所述懸空腔下方的聲孔,所述聲孔縱向貫穿所述襯底,且所述聲孔的橫截面積小于所述壓電振膜的橫截面積;所述壓電振膜包括至少兩個諧振頻率不同的組成部分.本發(fā)明實施例提供的壓電式麥克風的壓電振膜包括至少兩個諧振頻率不同的組成部分,整個振膜具有不同的諧振頻率,可以改善麥克風的頻譜,增大帶寬.