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MEMS掃描儀
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一種MEMS掃描儀系統(tǒng)和方法,裝置用于偏轉(zhuǎn)入射激光束的系統(tǒng)包括一種MEMS鏡(26)和一種不透明板(28),這種MEMS鏡(26)可用于接收入射激光束并生成反射的激光束,這種不透明板(28)具有一種孔徑(30),且這種不透明板(28)與這種MEMS鏡(26)相對(duì).這種孔徑(30)的尺寸確定為允許這種入射激光束和這種反射的激光束穿過(guò)這種孔徑(30).