薄膜電感器是一種采用真空薄膜工藝制作的電感器，可靠性高，易于集成化和片式化，非常適合于自動(dòng)化表面裝貼技術(shù)(SMT)，并且由于其尺寸小，高頻特性好等優(yōu)點(diǎn)，已成為國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。隨著信息技術(shù)的高速發(fā)展，要求電子系統(tǒng)中的元器件不斷地向著小、輕、薄、精方向發(fā)展。在個(gè)人電腦、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)，可視電話中，都需要通過(guò)升降壓來(lái)完成電路電能的供給，而電感器是其中的主要部件之一。通過(guò)電感器的薄膜，可以使三維立體結(jié)構(gòu)的磁心電感器向著二維平面結(jié)構(gòu)發(fā)展，大大減少系統(tǒng)尺寸，并隨著多種低能耗、高起始磁導(dǎo)率、高飽和磁化強(qiáng)度、寬工作溫度范圍的高頻薄膜軟磁材料的研制成功而使得制作高頻薄膜電感成為現(xiàn)實(shí)