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紫外線熱處理
紫外線熱處理
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紫外線輔助熱處理是一種較為先進(jìn)的薄膜改性技術(shù),它把紫外線光能和熱處理結(jié)合起來,來改變薄膜的結(jié)構(gòu),提高薄膜的性能;文章主要介紹了它在應(yīng)力薄膜和低k薄膜2個(gè)特定方面的應(yīng)用.