本實用新型提供了一種精密加工裝置,包括執(zhí)行元件,氣缸,直線電機(jī),壓力傳感器和控制器;執(zhí)行元件連接氣缸的活塞連桿,執(zhí)行元件作用于待加工工件;壓力傳感器置于氣缸內(nèi),壓力傳感器連接至控制器;氣缸與直線電機(jī)的動子固定連接,直線電機(jī)連接至控制器,控制器用于根據(jù)氣缸內(nèi)的壓力變化控制直線電機(jī)的動子運(yùn)動.本實用新型的精密加工裝置,使得待加工工件與執(zhí)行元件之間的接觸力保持不變,避免了加工過程中工件的變形,提高了加工的精度和加工效率,保證了加工質(zhì)量.