微位移控制系統(tǒng)
微位移控制系統(tǒng)
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本發(fā)明公開了壓電位移器領(lǐng)域內(nèi)的一種壓電微位移器驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng),包括由控制器,功率放大器以及位移測量設(shè)備組成的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),控制器的信號輸出端與功率放大器的信號輸入端相連,功率放大器的信號輸出端與被控電壓微位移機(jī)構(gòu)的信號輸入端相連,被控電壓微位移機(jī)構(gòu)的信號輸出端與位移測量設(shè)備的信號輸入端相連,位移測量設(shè)備的信號輸出端經(jīng)低通濾波器控制器的信號輸入端反饋連接,本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,體積小,制造成本低廉,且精度較高,可用于測量精度需求較高的場合中.
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