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MMA2204D
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MMA2204D加速計是一種表面微機械化的集成電路加速計。該芯片含有一個表面微機械化的電容測量單元(g—cell)和一個CMOS單調(diào)節(jié)應(yīng)用型專用集成電路,其中g(shù)-cell是一種半導(dǎo)體機械結(jié)構(gòu)。MMA2204D加速計內(nèi)部有一個多晶體硅慣性塊。它懸掛在兩塊固定的多晶體極之間,加速度的作用是使該慣性塊移動,從而使電容發(fā)生變化,然后再把電容轉(zhuǎn)化成電壓輸出。為了避免機械沖擊,該加速計還裝有阻尼和超量程制動機構(gòu)。此外 MMA2204D還具有濾波、自檢和狀態(tài)輸出功能。