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高純試劑
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超凈高純(VLSD) 試劑是大規(guī)模集成電路(IC) 及高檔半導體器件制造過程的專用化學品，主要用于硅單晶片的清洗、光刻、腐蝕工序中，它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能、可靠性都有著重要的影響。 超凈高純試劑通常由低純試劑或工業(yè)品經(jīng)過純化精制而成，其工藝過程包括選料、提純、過濾、分裝、儲存等重要環(huán)節(jié)。