本發(fā)明公開了一種制備超高純鋁及超高純鋁合金濺射靶材的方法，包括以下步驟：將材料在200℃～500℃，保溫24～48小時(shí)空冷至室溫；鑄錠放入橢圓形模具中，沿X方向進(jìn)行鍛壓，變形量達(dá)到20%～40%；將鑄錠放入圓形模具中，沿Y方向進(jìn)行鍛壓，變形量達(dá)到20%～40%；將鑄錠從模具中取出，沿Z方向進(jìn)行鍛壓，變形量達(dá)到70%；將鍛壓后的鑄錠在200～400℃條件下進(jìn)行退火處理；將鍛壓成板材在室溫下進(jìn)行8～20道次軋制，每道次扎下量不低于25%，X方向與Y方向交替軋制；在200～400℃條件下進(jìn)行退火處理，既消除了內(nèi)應(yīng)力，并將材料晶粒細(xì)化至200μm以下。運(yùn)用本方法制作的超高純鋁靶材，晶粒細(xì)小均勻，織構(gòu)穩(wěn)定，并且成材率高，易于操作，便于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。