晶圓劃片機(jī)
晶圓劃片機(jī)
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晶圓劃片是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中的一道必不可少的工序,在晶圓制造中屬后道工序。 將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片(晶粒),稱之為晶圓劃片。 近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓劃片需求不斷增長。 硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。 隨著晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向于輕薄化,傳統(tǒng)的很多加工方式已不再適用。于是部分工序引入了激光隱形切割技術(shù)。
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