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DUV光學(xué)系統(tǒng)
DUV光學(xué)系統(tǒng)
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光學(xué)系統(tǒng)(optical system)是指由透鏡、反射鏡、棱鏡和光闌等多種光學(xué)元件按一定次序組合成的系統(tǒng)。通常用來(lái)成像或做光學(xué)信息處 理。曲率中心在同一直線上的兩個(gè)或兩個(gè)以上折射(或反射)球面組成的光學(xué)系統(tǒng)稱為共軸球面系統(tǒng),曲率中心所在的那條直線稱為光軸