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ASP透鏡
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帶有透鏡結構的發(fā)光管有利于提高器件的外量子效率和耦合效率.InP襯底對1.3μm波長范圍的光發(fā)射是透明的,因而可制造帶透鏡結構器件.本文研究了4%CH_3COOH體系腐蝕液和H_3PO_4:HCI體積比為1:3腐蝕液的腐蝕特性,比較了二者的活化能和腐蝕液的溫度,狀態(tài)和襯底晶向等對腐蝕速率的影響.并用二步腐蝕法在外延片的InP襯底上制成了帶有透鏡的InAsP/InP發(fā)光管.其曲率半徑為160—170μm.該器件在彩色錄像傳輸系統(tǒng)中的應用效果良好.