KrF光刻
KrF光刻
相關(guān)文章 : 0篇
瀏覽 : 次
光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個(gè)主要工藝。是對(duì)半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開(kāi)孔,以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴(kuò)散的一種加工技術(shù)。
推薦產(chǎn)品
列表欄目