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高壓模塊
高壓模塊
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靜電力驅(qū)動(dòng)有著功耗低、響應(yīng)時(shí)間短、宜于完成高頻率的驅(qū)動(dòng)而且結(jié)構(gòu)易于實(shí)現(xiàn)的特點(diǎn)，從而廣泛應(yīng)用于微變形鏡、微型光譜儀、微陀螺、微諧振器等MEMS器件。然而采用靜電力驅(qū)動(dòng)器件常常需要十分高的恒壓電源，所以可以設(shè)計(jì)一種高壓控制系統(tǒng)，滿足驅(qū)動(dòng)要求，使得微機(jī)械傳感器的器件廣泛使用。