EUV光路
EUV光路
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當(dāng)一說起芯片,很多人往往會提到光刻機(jī)。而一說起光刻機(jī),很多人應(yīng)該首先想到的就是總部位于荷蘭的光刻機(jī)大廠阿斯麥(ASML),覺得阿斯麥?zhǔn)且患曳浅A瞬黄鸬墓?,因?yàn)榕_積電、英特爾、三星電子、中芯、格芯等晶圓制造大廠,無不仰賴阿斯麥的光刻機(jī)設(shè)備。特別是在行業(yè)處于領(lǐng)先水平的極紫外光刻機(jī)。 然而,鮮少有人知道的是,在阿斯麥的背后,卻站立著一家世界上非常偉大的公司,它就是總部設(shè)在德國的卡爾蔡司。如果沒有蔡司公司的光學(xué)鏡頭,那么阿斯麥的極紫外(EUV)光刻機(jī)便無從談起。目前,蔡司在全球擁有最多的極紫外光刻機(jī)專利,并已成為阿斯麥的合作伙伴之一,雙方之間有著十分緊密的關(guān)系。
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