積分器
積分器
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電子式的積分器是一階的低通濾波器,可以以類比電路實(shí)現(xiàn),也可以用離散電路實(shí)現(xiàn)。積分器有低通濾波的效果,但若是有不為零的偏壓,積分器的輸出會(huì)持續(xù)上升或是下降,一直到輸出達(dá)到系統(tǒng)限制為止。 電壓積分器是將電壓對(duì)時(shí)間積分的電子設(shè)備,最后再量測(cè)累計(jì)的電壓-秒。 電流積分器是將電流對(duì)時(shí)間積分的電子設(shè)備,最后再量測(cè)累計(jì)的庫(kù)侖。電荷放大器就是一種 電流積分器,電流積分器也用來(lái)量測(cè)余氣分析儀上法拉第杯的電荷,以量測(cè)真空中氣體的分壓。另一個(gè)電流積分器的應(yīng)用是在離子束淀積,若已知離子的電荷,則其中量測(cè)到的電荷直接對(duì)應(yīng)淀積到基板上的電荷數(shù)。傳導(dǎo)電流的電極須連接到離子源及基板上,配合離子束可以形成封閉電路。
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