近期三星為爭(zhēng)搶EUV設(shè)備，高層頻頻傳出密訪ASML，EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV，大家首先想到的就是ASML，ASML并不是一個(gè)家喻戶曉的名字，但他卻是現(xiàn)代技術(shù)的關(guān)鍵。因?yàn)樗峁┝酥圃彀雽?dǎo)體必不可少的“光刻”機(jī)器，在摩爾定律即將發(fā)展到盡頭的現(xiàn)在，可以說，得EUV者得先進(jìn)工藝。 雖然在EUV相關(guān)設(shè)備市場(chǎng)中，荷蘭ASML壟斷了核心光刻機(jī)，但在“極紫外光刻曝光”周邊設(shè)備中，日本設(shè)備廠家的存在感在逐步提升，尤其在檢測(cè)、感光材料涂覆、成像等相關(guān)設(shè)備方面，日本的實(shí)力也是不容忽視的。