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溝道器
溝道器
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實(shí)施例針對具有超長溝道的垂直場效應(yīng)晶體管(VFET)的方法和所得結(jié)構(gòu).在襯底上形成一對半導(dǎo)體鰭片.在襯底上的半導(dǎo)體鰭之間形成半導(dǎo)體柱.在所有半導(dǎo)體鰭下方和部分半導(dǎo)體柱下方延伸的區(qū)域摻雜.在半導(dǎo)體鰭片的溝道區(qū)域和半導(dǎo)體柱上方形成導(dǎo)電柵極.當(dāng)柵極被激活時(shí),半導(dǎo)體柱的表面用作擴(kuò)展的溝道