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雙反應(yīng)臺電感耦合
雙反應(yīng)臺電感耦合
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（全球TMT2021年3月16日訊）中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”）在SEMICON China 2021期間正式發(fā)布了新一代電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備Primo Twin-Star?，用于IC器件前道和后道制程導(dǎo)電/電介質(zhì)膜的刻蝕應(yīng)用。