光阻稀釋劑的原料是環(huán)氧丙烷（propylene oxide，PO），PO 會煉制成丙二醇甲醚（propylene glycol methyl ether，PGME）和丙二醇甲醚醋酸酯（Propylene glycol methyl ether acetate，PGMEA），而電子級的PGME和PGMEA常以一定配比互溶，在例如半導體、陽極感光材料、液晶顯示屏和光刻膠等的生產(chǎn)中可以作為光阻稀釋劑、光阻去除劑、去光阻緩沖液、剝離劑和清洗劑使用。