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半導體制造
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《半導體制造工藝》是2015年8月7日機械工業(yè)出版社出版的圖書,作者是張淵。 主要介紹了半導體器件基本結(jié)構(gòu) 、半導體器件工藝的發(fā)展歷史、半導體材料基本性質(zhì)及半導體制造中使用的化學品,以典型的CMOS管的制造實例為基礎(chǔ)的集成電路的制造過程及制造過程中對環(huán)境的要求及污染的控制。