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檢測裸硅圓片
檢測裸硅圓片
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就產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境的清潔度而言，半導體行業(yè)是一個要求很高的行業(yè)。金屬污染對芯片有害，所以應(yīng)避免裸晶圓片上有金屬污染。本文的研究目的是交流解決裸硅圓片上金屬污染問題的經(jīng)驗，介紹如何使用互補性測量方法檢測裸硅圓片上的少量金屬污染物并找出問題根源，解釋從多個不同的檢測方法中選擇適合方法的難度，以及用壽命測量技術(shù)檢測污染物對熱處理的依賴性。