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MEMS電磁傳感器
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目前主要的磁傳感技術(shù)根據(jù)工作原理的不同,包括霍爾、AMR(各向異性磁阻傳感器)、GMR(巨磁阻)、TMR(隧道磁電阻)、磁通門、磁感應(yīng)(Magneto Inductive)、超導(dǎo)量子干涉儀(SQUID)等。據(jù)市場調(diào)研公司MarketsandMarkets預(yù)測,全球磁傳感器市場規(guī)模預(yù)計將從2015年的22.5億美元增長至2022年的41.6億美元,2016~2022年間的年復(fù)合增長率為8.87%,增長勢頭強勁。 全球磁傳感器市場增長的主要驅(qū)動力來自于:磁傳感器垂直行業(yè)對基于MEMS傳感器的需求日益增長(傳統(tǒng)的基于機電工藝制成的傳感器和執(zhí)行器在體積、價格和產(chǎn)能上不能適應(yīng)工業(yè)、消費電子等領(lǐng)域的需求)、汽車和電子羅盤應(yīng)用的增長、對高質(zhì)量傳感器件需求的日益增加、消費電子應(yīng)用的不斷增長。