mems氣體傳感器,mems傳感器是什么意思


1、mems傳感器是什么意思
MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems)
是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù),具有廣闊的應(yīng)用前景。
截止到2010年,全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作,已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品,其中MEMS傳感器占相當(dāng)大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。
應(yīng)用——MEMS傳感器應(yīng)用于無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè),檢測(cè)胎兒心率是一項(xiàng)技術(shù)性很強(qiáng)的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽(tīng)診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,用人工計(jì)數(shù)很難測(cè)量準(zhǔn)確。
而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護(hù)儀,價(jià)格昂貴,僅為少數(shù)大醫(yī)院使用,在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無(wú)法普及。此外,超聲振動(dòng)波作用于胎兒,會(huì)對(duì)胎兒產(chǎn)生很大的不利作用。盡管檢測(cè)劑量很低,也屬于有損探測(cè)范疇,不適于經(jīng)常性、重復(fù)性的檢查及家庭使用。
2、請(qǐng)教MEMS氣體流量傳感器的原理!
產(chǎn)品原理
MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS芯片作為傳感器核心部件,當(dāng)沒(méi)有氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí),傳感器周?chē)3址€(wěn)定的溫度場(chǎng)(溫度分布),當(dāng)氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí),溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重新分布。局部溫度場(chǎng)的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量,通過(guò)校準(zhǔn),專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可精確測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流量.
3、呼吸機(jī)應(yīng)用中有哪些性能好的微差壓氣體壓力傳感器?
壓力傳感器在呼吸機(jī)中有著近30年應(yīng)用的發(fā)展歷史,并成為呼吸機(jī)氣路系統(tǒng)的關(guān)鍵部件,此類(lèi)的微差壓氣體壓力傳感器產(chǎn)品,知道的有北京智芯傳感自主研發(fā)的ZXP8微差壓氣體壓力傳感器,其核心是MEMS壓阻式芯體和高性能信號(hào)調(diào)理電路。信號(hào)調(diào)理芯片能夠?qū)EMS壓阻芯體的溫度線性度、零偏和靈敏度進(jìn)行數(shù)字補(bǔ)償,且信號(hào)調(diào)理電路包含一個(gè)24-bit的Σ-ΔADC,保證了高精度壓力信號(hào)的輸出。同時(shí),傳感器將MEMS壓阻式芯體和專(zhuān)用信號(hào)調(diào)理電路封裝在雙氣嘴結(jié)構(gòu)的管殼內(nèi),降低環(huán)境對(duì)輸出的影響。
4、傳感器排名
傳感器排名:
1、博世(BOSCH)
博世是世界上最大的傳感器企業(yè),也是世界上最大的MEMS傳感器廠商。博世是一家典型的IDM廠商,博世所有MEMS傳感器均在德國(guó)羅伊特林根(Reutlingen)制造。
博世是全球多個(gè)細(xì)分傳感器領(lǐng)域TOP1,包括汽車(chē)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS氣體傳感器等領(lǐng)域。
博世的MEMS傳感器涵蓋慣性、環(huán)境、智能、光學(xué)、聲學(xué)傳感器5大類(lèi),是汽車(chē)制造、消費(fèi)類(lèi)電子、家用電器等MEMS制造商的領(lǐng)頭羊,牢牢占據(jù)著汽車(chē)與消費(fèi)電子兩大市場(chǎng)。
博世集團(tuán)于1909年在中國(guó)開(kāi)設(shè)了第一家貿(mào)易辦事處,1926年在上海創(chuàng)建首家汽車(chē)售后服務(wù)車(chē)間。時(shí)至今日,集團(tuán)的四大業(yè)務(wù)部門(mén)均已落戶中國(guó):汽車(chē)技術(shù)、工業(yè)技術(shù)、消費(fèi)品、能源與建筑技術(shù)。
2、索尼(SONY)
索尼是全球CMOS圖像傳感器第一企業(yè),其全球圖像傳感器市場(chǎng)份額占比近40%,位于其后的是韓國(guó)三星和中國(guó)韋爾股份。
索尼擁有世界第三大MEMS代工產(chǎn)線,其產(chǎn)能需求主要來(lái)自集團(tuán)內(nèi)部對(duì)MEMS傳感器、CMOS圖像傳感器的需求。
索尼在制造MEMS和半導(dǎo)體技術(shù)加工方面的豐富經(jīng)驗(yàn),提供廣泛的MEMS代工服務(wù),包括晶圓工藝開(kāi)發(fā)(開(kāi)發(fā)、工程樣品、小批量至大批量生產(chǎn))、可用流程有批量工藝(包括SOI)、表面工藝、半導(dǎo)體工藝,MEMS產(chǎn)線位于日本鹿兒島。
3、通用電氣(GE)
通用電氣(GE)是全球知名傳感器廠商,是先進(jìn)測(cè)量和基于傳感器的技術(shù)解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者。
GE設(shè)計(jì)和生產(chǎn)用于測(cè)量溫度、壓力、液位、濕度、氣體濃度和流量的精密儀器和系統(tǒng),適用于最苛刻的客戶應(yīng)用。GE為世界各地的航空航天、醫(yī)療保健、運(yùn)輸、加工和工業(yè)企業(yè)的客戶提供服務(wù)。
GE旗下匯聚多個(gè)豪華傳感器品牌陣營(yíng),部分已經(jīng)被出售給安費(fèi)諾,曾包括:德魯克(Druck,世界最大壓力傳感器廠商之一)、General Eastern(露點(diǎn)濕度傳感器領(lǐng)導(dǎo)者之一)、Kaye、NovaSensor、Panametrics、Telaire、Thermometrics和Ruska等。
通用電氣(GE)是一家多元化的科技、媒體和金融服務(wù)公司,由四大業(yè)務(wù)集團(tuán)構(gòu)成,每個(gè)集團(tuán)都包括多個(gè)共同增長(zhǎng)的部門(mén)。
GE的產(chǎn)品和服務(wù)范圍廣闊,從飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)、發(fā)電設(shè)備、水處理和安全技術(shù),到醫(yī)療成像、商務(wù)和消費(fèi)者金融、媒體和工業(yè)產(chǎn)品。
4、西門(mén)子(Siemens)
西門(mén)子成立于1847年,是全球享譽(yù)世界的電子電氣工程領(lǐng)域的領(lǐng)先企業(yè),也是全球知名傳感器制造廠商,擁有超過(guò)60年的傳感器研發(fā)實(shí)力。
德國(guó)西門(mén)子傳感器的特點(diǎn)同樣包括“六化”:比如微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化,它是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制的首要環(huán)節(jié)。西門(mén)子傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、HVAC設(shè)備等許多領(lǐng)域。
2014年9月,西門(mén)子股份公司和博世集團(tuán)達(dá)成協(xié)議:西門(mén)子徹底退出家電領(lǐng)域。出售家電業(yè)務(wù)正是西門(mén)子專(zhuān)注于電氣化、自動(dòng)化和數(shù)字化戰(zhàn)略的體現(xiàn)。
5、霍尼韋爾(Honeywell)
霍尼韋爾是全球傳感器行業(yè)巨頭,霍尼韋爾傳感物聯(lián)事業(yè)部提供超過(guò)三萬(wàn)種的產(chǎn)品,包括快動(dòng)、限位、輕觸和壓力開(kāi)關(guān),以及位置、速度、壓力、溫濕度、電流和氣流、氣體,掃描引擎?zhèn)鞲衅鳎莻鞲信c開(kāi)關(guān)產(chǎn)品涵蓋范圍最廣的廠商之一。
霍尼韋爾也是全球MEMS傳感器主要廠商之一,在全球MEMS廠商中排名12。(具體情況可參看《最新全球MEMS企業(yè)排名TOP 30,3家中國(guó)企業(yè)入榜!》內(nèi)容。)
霍尼韋爾始創(chuàng)于1885年,目前,霍尼韋爾四大業(yè)務(wù)集團(tuán)均已落戶中國(guó),高科技解決方案涵蓋航空、樓宇和工業(yè)控制技術(shù),特性材料,以及物聯(lián)網(wǎng)。
責(zé)任編輯:David
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