原標(biāo)題：晶瑞電材：ArF（193）高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動

晶瑞電材在高端光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)工作一直備受關(guān)注，特別是在ArF（193nm）高端光刻膠方面，公司取得了顯著進展。以下是關(guān)于晶瑞電材ArF（193）高端光刻膠研發(fā)工作的詳細(xì)情況：

一、研發(fā)工作正式啟動

晶瑞電材已經(jīng)正式啟動了ArF（193nm）高端光刻膠的研發(fā)工作。這一決定是公司戰(zhàn)略布局的重要組成部分，旨在通過自主研發(fā)，打破國外技術(shù)壟斷，滿足國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)對高端光刻膠的迫切需求。

二、研發(fā)進展與設(shè)備購置

在研發(fā)過程中，晶瑞電材已經(jīng)完成了關(guān)鍵設(shè)備的購置和調(diào)試工作。這些設(shè)備包括光刻機、勻膠顯影機、掃描電鏡、臺階儀等，其中ASML1900Gi型光刻機設(shè)備正在積極調(diào)試中。這些設(shè)備的到位和調(diào)試成功，為ArF高端光刻膠的研發(fā)工作提供了有力的技術(shù)保障。

三、KrF高端光刻膠的量產(chǎn)情況

值得注意的是，晶瑞電材在KrF（248nm）高端光刻膠的研發(fā)和量產(chǎn)方面也取得了重要進展。公司高端KrF光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，并進入客戶測試階段。目前，KrF高端光刻膠部分品種已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn)，這為公司積累了豐富的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗，也為ArF高端光刻膠的研發(fā)工作奠定了堅實基礎(chǔ)。

四、全產(chǎn)業(yè)鏈布局與技術(shù)攻關(guān)

晶瑞電材不僅注重光刻膠本身的研發(fā)和生產(chǎn)，還積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。公司旨在通過全產(chǎn)業(yè)鏈布局，實現(xiàn)關(guān)鍵材料的自主可控，提升整體競爭力。同時，公司還牽頭發(fā)起了超大規(guī)模集成電路用高端光刻膠技術(shù)攻關(guān)及產(chǎn)業(yè)化工程的攻關(guān)任務(wù)，旨在通過自主研發(fā)，打通ArF、KrF光刻膠用樹脂的工藝合成路線，滿足當(dāng)前集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料市場需求。

五、未來展望

隨著全球集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和國內(nèi)市場的不斷擴大，高端光刻膠的需求量將持續(xù)增長。晶瑞電材作為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料供應(yīng)商，將繼續(xù)加大在高端光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)投入和產(chǎn)業(yè)化力度，推動公司技術(shù)水平和市場占有率的不斷提升。同時，公司也將積極尋求與國內(nèi)外優(yōu)秀企業(yè)的合作機會，共同推動半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。

綜上所述，晶瑞電材ArF（193）高端光刻膠的研發(fā)工作已經(jīng)正式啟動并取得初步進展。公司將繼續(xù)秉承創(chuàng)新發(fā)展的理念，致力于成為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料供應(yīng)商之一。