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中欣晶圓:連續(xù)成功拉制12寸450公斤投料晶棒,量產(chǎn)可期

來源: 中電網(wǎng)
2021-09-17
類別:業(yè)界動態(tài)
eye 20
文章創(chuàng)建人 拍明

原標(biāo)題:中欣晶圓:連續(xù)成功拉制12寸450公斤投料晶棒,量產(chǎn)可期

中欣晶圓在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得了重大突破,成功連續(xù)拉制出12寸450公斤投料晶棒,這一成就標(biāo)志著其量產(chǎn)計劃已具備堅實基礎(chǔ),量產(chǎn)前景可期。以下是對此事件的詳細(xì)分析:

一、技術(shù)突破與成果展示

  • 成功拉制:2021年8月17日,中欣晶圓研發(fā)團(tuán)隊成功拉制出首根12寸450公斤投料晶棒。該晶棒凈重437.7公斤,體長2900mm,身長2400mm,良率達(dá)到87.6%,相較于之前300公斤投料量時的良率提高了4.6個百分點。緊接著,在同年9月5日,公司再次成功拉制出第二根同規(guī)格的投料晶棒,參數(shù)指標(biāo)與首根晶棒幾乎一致,這標(biāo)志著中欣晶圓已經(jīng)具備了標(biāo)準(zhǔn)化量產(chǎn)12寸450公斤投料晶棒的技術(shù)和工藝水平。

  • 技術(shù)難度:在晶棒拉制過程中,投料量越多對工藝、單晶爐臺控制精度等方面的要求就越高。由于32寸石英坩堝一次性最多能裝340公斤的多晶硅料,因此投料量增加至450公斤必須采用二次投料技術(shù)來實現(xiàn)。中欣晶圓研發(fā)團(tuán)隊在前期8寸二次投料技術(shù)的基礎(chǔ)上,針對12寸單晶爐結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計,并成功配套使用了二次投料工裝,從而實現(xiàn)了大質(zhì)量晶棒的連續(xù)拉制。

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二、量產(chǎn)計劃與產(chǎn)能提升

  • 產(chǎn)能現(xiàn)狀:中欣晶圓是國內(nèi)少數(shù)能量產(chǎn)12英寸大硅片的半導(dǎo)體材料企業(yè)之一,目前具備6英寸及以下40萬片/月、8英寸45萬片/月、12英寸10萬片/月的產(chǎn)能。公司計劃在2022年將12英寸硅片的月產(chǎn)能提升至20萬片,以滿足市場對高端半導(dǎo)體材料的需求。

  • 量產(chǎn)前景:大質(zhì)量晶棒的拉制成功不僅提升了中欣晶圓的月產(chǎn)量,還提高了單根晶棒的可利用率和12寸硅片的良率與穩(wěn)定性。在直徑相同的情況下,大質(zhì)量晶棒意味著長度的增加,從而減少了頭料和尾料的浪費,提升了晶棒的整體利用率。此外,投料量的增加也使得在相同價格的石英坩堝及輔材下產(chǎn)出更多產(chǎn)品,降低了生產(chǎn)成本。這些因素共同為中欣晶圓的量產(chǎn)計劃奠定了堅實基礎(chǔ)。

三、市場影響與戰(zhàn)略意義

  • 市場影響:在全球半導(dǎo)體材料市場中,中欣晶圓的這一技術(shù)突破無疑將提升其市場地位和競爭力。隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和國產(chǎn)替代趨勢的加強,中欣晶圓有望憑借其在12英寸大硅片領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)和產(chǎn)能優(yōu)勢占據(jù)更多市場份額。

  • 戰(zhàn)略意義:中欣晶圓堅持面向國家半導(dǎo)體行業(yè)的重大戰(zhàn)略需求,以發(fā)展中國半導(dǎo)體材料為己任。在技術(shù)上勇于突破、不斷創(chuàng)新,為大硅片國產(chǎn)化做出了重要貢獻(xiàn)。同時,公司還積極向國內(nèi)外客戶供應(yīng)高品質(zhì)的正片產(chǎn)品,助力全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

綜上所述,中欣晶圓連續(xù)成功拉制12寸450公斤投料晶棒是其技術(shù)實力和量產(chǎn)能力的集中體現(xiàn)。隨著公司產(chǎn)能的不斷提升和技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新,中欣晶圓有望在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得更加輝煌的成就。


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