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你足夠了解晶圓嗎?晶圓和硅片有何區(qū)別?

來源: 21ic
2020-12-31
類別:基礎(chǔ)知識
eye 39
文章創(chuàng)建人 拍明

原標(biāo)題:你足夠了解晶圓嗎?晶圓和硅片有何區(qū)別?

對于晶圓和硅片的區(qū)別,可以從以下幾個方面進(jìn)行闡述:

一、定義與范圍

  1. 硅片:硅片是由高純結(jié)晶硅為材料制造的圓片,一般作為集成電路和半導(dǎo)體器件的載體。它是由成形的硅晶片制成,具體來說,是從硅晶體拉曼光譜的硅晶片制成的。

  2. 晶圓:晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。在半導(dǎo)體工藝中,晶圓所指范圍可以更廣,它通常指的是經(jīng)過一系列半導(dǎo)體制造工藝處理后的硅片,這些工藝可能包括摻雜、光刻、蝕刻等步驟,用以形成晶體管和其他電子元件。此外,晶圓既可以指代以硅元素為構(gòu)成的硅片,也可以指代化合物半導(dǎo)體如砷化鎵、碳化硅等構(gòu)成的基體薄片。

二、材料與工藝

  1. 材料

    • 硅片:由成形的硅晶片制成,主要材料是高純度的結(jié)晶硅。

    • 晶圓:雖然主要以硅為材料,但也可以是化合物半導(dǎo)體材料,如砷化鎵、碳化硅等。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,晶圓通常采用高純度的多晶硅經(jīng)過一系列復(fù)雜工藝制成單晶硅,再切片得到。

  2. 工藝

    • 硅片:制作工藝要求非常細(xì)致,必須經(jīng)過磨鑲、切割、結(jié)構(gòu)開孔、釬焊等多步復(fù)雜工藝,才能發(fā)揮出硅片的最佳性能。

    • 晶圓:制作工藝相對硅片來說可能包含更多的半導(dǎo)體制造工藝步驟,如摻雜、光刻、蝕刻等,用以形成晶體管和其他電子元件。這些步驟使得晶圓上的電路結(jié)構(gòu)更加復(fù)雜和精細(xì)。

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三、尺寸與厚度

  1. 尺寸:硅片的尺寸通常不會太大,一般不會超過400毫米。而晶圓的尺寸則根據(jù)其用途和制造工藝的不同而有所變化,但通常也是圓形的,且尺寸可能因工藝需求而有所調(diào)整。

  2. 厚度:硅片普遍較厚,一般厚度介于0.2毫米至2毫米之間。而晶圓的厚度則相對較薄,通常介于0.025毫米到0.2毫米之間,可根據(jù)需要將厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)。這種厚度的差異使得晶圓在半導(dǎo)體制造中具有更高的靈活性和適應(yīng)性。

四、功能與應(yīng)用

  1. 功能:硅片是一個通用型產(chǎn)品,其功能性能較低,只能滿足基本的功能特性。而晶圓則經(jīng)過一系列復(fù)雜的半導(dǎo)體制造工藝處理后,具有更高的功能性能和集成度,可以滿足復(fù)雜電路的要求,基本可以滿足所有的智能電子產(chǎn)品。

  2. 應(yīng)用:硅片主要用于半導(dǎo)體和光伏兩大領(lǐng)域。而晶圓則主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的制造,是制造CPU等高性能電子元件的關(guān)鍵材料。此外,晶圓還可以應(yīng)用于其他領(lǐng)域,如化合物半導(dǎo)體材料的制造等。

五、其他性能

  1. 耐溫特性:硅片的耐溫特性一般較好,可以耐受溫度高達(dá)150°C。而晶圓的耐溫特性則相對較低,溫度上升到100°C就可能引起電性能的偏移。因此,晶圓在熱穩(wěn)定性方面需要更加注意。

  2. 可靠性:晶圓具有很好的可靠性,不容易發(fā)生故障,而且能夠耐熱和耐寒,多年來一直被廣泛應(yīng)用。

綜上所述,晶圓和硅片在定義與范圍、材料與工藝、尺寸與厚度、功能與應(yīng)用以及其他性能等方面都存在顯著的差異。這些差異使得它們在半導(dǎo)體制造中具有不同的應(yīng)用場景和優(yōu)勢。


責(zé)任編輯:David

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標(biāo)簽: 晶圓 硅片

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