您提到的“MM香表面波濾波器”可能是指“MHz聲表面波濾波器”的誤寫。MHz聲表面波濾波器（SAW Filter）的組成部分除了之前提到的叉指換能器（IDT）、壓電基片、封裝與外殼等關(guān)鍵元件外，還可以進(jìn)一步細(xì)化并包含以下其他組成部分：

一、反射柵

• 作用：反射柵是聲表面波濾波器中的一個(gè)重要結(jié)構(gòu)，它通常由一系列與聲波波長相關(guān)的周期性結(jié)構(gòu)（如刻槽或金屬條）組成。反射柵位于壓電基片上的特定位置，用于將聲波在特定頻率上反射回濾波器區(qū)域，從而增強(qiáng)或抑制這些頻率的信號(hào)。

• 效果：通過精心設(shè)計(jì)反射柵的位置和間距，可以實(shí)現(xiàn)濾波器的選頻特性，包括通帶、阻帶和過渡帶。這有助于濾波器更精確地篩選和放大所需頻率的信號(hào)。

二、輸入輸出端

• 功能：輸入端用于接收來自前級(jí)電路的電信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為機(jī)械振動(dòng)信號(hào)（聲信號(hào)）。輸出端則用于接收壓電基片上傳來的機(jī)械振動(dòng)信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出到后級(jí)電路。

• 設(shè)計(jì)：輸入和輸出端的設(shè)計(jì)決定了濾波器的頻率響應(yīng)和帶寬。通過調(diào)整輸入和輸出端的結(jié)構(gòu)參數(shù)，可以優(yōu)化濾波器的性能，以滿足不同應(yīng)用場合的需求。

三、金屬膜與光刻膠層

• 金屬膜：在壓電基片表面沉積一層金屬膜（通常為鋁或金），作為后續(xù)工藝中的導(dǎo)電層和基礎(chǔ)層。這層金屬膜在叉指換能器的制作過程中起到關(guān)鍵作用。

• 光刻膠層：在金屬膜上涂覆一層光刻膠，并通過光刻工藝將掩模上的圖形和路線精確地投影在光刻膠上。然后，通過顯影處理去除曝光區(qū)（或未曝光區(qū)）的光刻膠，形成金屬盤孔、通過孔和聲表面波引出口（即叉指換能器的電極）等結(jié)構(gòu)。

四、電極與連接點(diǎn)

• 電極：叉指換能器的電極由交替排列的金屬指條組成，這些指條沉積在壓電基片的表面上。電極間的間隙形成電場，用于激勵(lì)和檢測聲表面波。

• 連接點(diǎn)：在濾波器的封裝過程中，需要為電極提供與外部電路的連接點(diǎn)。這些連接點(diǎn)通常通過引線或焊盤與封裝管座的引腳相連，以確保電信號(hào)的暢通傳輸。

五、其他輔助結(jié)構(gòu)與材料

• 吸聲層：在某些濾波器設(shè)計(jì)中，可能會(huì)包含一層吸聲材料，用于吸收不需要的聲波，減少干擾和噪聲。

• 保護(hù)層：為了保護(hù)濾波器內(nèi)部的脆弱結(jié)構(gòu)，通常會(huì)在濾波器表面涂覆一層保護(hù)層，以提高其抗磨損和抗腐蝕能力。

綜上所述，MHz聲表面波濾波器的組成部分包括叉指換能器、壓電基片、反射柵、輸入輸出端、金屬膜與光刻膠層、電極與連接點(diǎn)以及其他輔助結(jié)構(gòu)與材料。這些組成部分共同協(xié)作，實(shí)現(xiàn)了對(duì)特定頻率信號(hào)的篩選和放大功能，滿足了現(xiàn)代電子系統(tǒng)對(duì)高性能、高可靠性和小型化的需求。