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Advanced Energy 的10kW電源配備先進(jìn)脈沖功能,讓生產(chǎn)商可充分利用極度精確和可客制的等離子電源控制功能

來(lái)源: 中電網(wǎng)
2021-12-10
類別:新品快報(bào)
eye 6
文章創(chuàng)建人 拍明

原標(biāo)題:Advanced Energy 的10kW電源配備先進(jìn)脈沖功能,讓生產(chǎn)商可充分利用極度精確和可客制的等離子電源控制功能

Advanced Energy 的10kW電源配備先進(jìn)脈沖功能,確實(shí)為生產(chǎn)商提供了極度精確和可客制的等離子電源控制功能。以下是關(guān)于這款電源的詳細(xì)介紹:

一、產(chǎn)品概述

Advanced Energy(納斯達(dá)克:AEIS)一直致力于開(kāi)發(fā)各種先進(jìn)的高精度電源轉(zhuǎn)換、測(cè)量和控制系統(tǒng)等解決方案,技術(shù)領(lǐng)先全球。該公司推出的10kW脈沖直流電源(Ascent? SMS AP)不僅配備了領(lǐng)先業(yè)界的電源和控制功能,還預(yù)裝了PowerInsight by Advanced Energy?這套嵌入式制程工藝優(yōu)化程序,進(jìn)一步提升了其在工業(yè)應(yīng)用中的表現(xiàn)。

二、主要特點(diǎn)

  1. 先進(jìn)脈沖功能

    • 這款A(yù)scent? SMS AP電源配備了已注冊(cè)專利的脈沖技術(shù),成功將優(yōu)化的電弧管理和精確的等離子電源控制功能引進(jìn)到技術(shù)要求極為嚴(yán)格的薄膜沉積應(yīng)用中,包括半導(dǎo)體和太陽(yáng)能光伏電池生產(chǎn)等方面。

    • 輸出的先進(jìn)脈沖(AP)波形可以支持升壓、反向電壓控制以及先進(jìn)脈沖整形等功能,以便因應(yīng)薄膜型態(tài)和要求的薄膜特性實(shí)現(xiàn)波形的微調(diào)。

  2. 高性能電弧管理

    • 電源的漸進(jìn)式電弧管理系統(tǒng)共有4個(gè)不同的單元,可支持全范圍反向電壓操作,是目前業(yè)界極為先進(jìn)的電源解決方案。

    • 所存儲(chǔ)的電弧能量最少,而且所提供的電弧參數(shù)均可自我調(diào)節(jié),讓有關(guān)參數(shù)可以按照制程工藝步伐靈活調(diào)節(jié)。

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  1. 寬廣的安全工作區(qū)(SOA)

    • 電源外型小巧,但安全工作區(qū)范圍極為寬廣,例如峰值電壓高達(dá)1200V,頻率則介于0.5至150kHz之間。

  2. 制程工藝特性分析功能

    • 內(nèi)置的PowerInsight制程工藝優(yōu)化程序可搜集、分析和轉(zhuǎn)譯來(lái)自關(guān)鍵饋電系統(tǒng)的資料,幫助用戶優(yōu)化制程工藝,以提升產(chǎn)量和生產(chǎn)良率,并減少無(wú)法預(yù)測(cè)的制程工藝設(shè)備故障停機(jī)時(shí)間。

  3. 可定制性和靈活性

    • 電源具有高度配置的波形、寬廣的頻率范圍以及可定制的控制功能,使得生產(chǎn)商能夠根據(jù)不同應(yīng)用需求進(jìn)行靈活配置和優(yōu)化。

三、應(yīng)用場(chǎng)景

這款10kW Ascent SMS AP電源適用于多種工業(yè)應(yīng)用,特別是在對(duì)電源控制精度和穩(wěn)定性要求極高的半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、太陽(yáng)能光伏電池生產(chǎn)等領(lǐng)域中展現(xiàn)出卓越的性能。

四、市場(chǎng)反響

Advanced Energy等離子電源產(chǎn)品高級(jí)市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)總監(jiān)Dhaval Dhayatkar表示,這款全新的10kW Ascent SMS AP電源充分利用了Advanced Energy的許多尖端技術(shù),旨在提升客戶在先進(jìn)半導(dǎo)體制程工藝中的精準(zhǔn)度、可重復(fù)性和生產(chǎn)良率。這一產(chǎn)品的推出進(jìn)一步鞏固了Advanced Energy在高精度電源解決方案領(lǐng)域的市場(chǎng)地位。

綜上所述,Advanced Energy的10kW脈沖直流電源憑借其先進(jìn)脈沖功能、高性能電弧管理、寬廣的安全工作區(qū)以及制程工藝特性分析功能等優(yōu)勢(shì),在生產(chǎn)商中獲得了廣泛認(rèn)可和應(yīng)用。


責(zé)任編輯:David

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