原標(biāo)題：中欣晶圓：連續(xù)成功拉制12寸450公斤投料晶棒，量產(chǎn)可期

中欣晶圓在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得了重大突破，成功連續(xù)拉制出12寸450公斤投料晶棒，這一成就標(biāo)志著其量產(chǎn)計(jì)劃已具備堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，量產(chǎn)前景可期。以下是對此事件的詳細(xì)分析：

一、技術(shù)突破與成果展示

• 成功拉制：2021年8月17日，中欣晶圓研發(fā)團(tuán)隊(duì)成功拉制出首根12寸450公斤投料晶棒。該晶棒凈重437.7公斤，體長2900mm，身長2400mm，良率達(dá)到87.6%，相較于之前300公斤投料量時(shí)的良率提高了4.6個(gè)百分點(diǎn)。緊接著，在同年9月5日，公司再次成功拉制出第二根同規(guī)格的投料晶棒，參數(shù)指標(biāo)與首根晶棒幾乎一致，這標(biāo)志著中欣晶圓已經(jīng)具備了標(biāo)準(zhǔn)化量產(chǎn)12寸450公斤投料晶棒的技術(shù)和工藝水平。

• 技術(shù)難度：在晶棒拉制過程中，投料量越多對工藝、單晶爐臺(tái)控制精度等方面的要求就越高。由于32寸石英坩堝一次性最多能裝340公斤的多晶硅料，因此投料量增加至450公斤必須采用二次投料技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。中欣晶圓研發(fā)團(tuán)隊(duì)在前期8寸二次投料技術(shù)的基礎(chǔ)上，針對12寸單晶爐結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，并成功配套使用了二次投料工裝，從而實(shí)現(xiàn)了大質(zhì)量晶棒的連續(xù)拉制。

二、量產(chǎn)計(jì)劃與產(chǎn)能提升

• 產(chǎn)能現(xiàn)狀：中欣晶圓是國內(nèi)少數(shù)能量產(chǎn)12英寸大硅片的半導(dǎo)體材料企業(yè)之一，目前具備6英寸及以下40萬片/月、8英寸45萬片/月、12英寸10萬片/月的產(chǎn)能。公司計(jì)劃在2022年將12英寸硅片的月產(chǎn)能提升至20萬片，以滿足市場對高端半導(dǎo)體材料的需求。

• 量產(chǎn)前景：大質(zhì)量晶棒的拉制成功不僅提升了中欣晶圓的月產(chǎn)量，還提高了單根晶棒的可利用率和12寸硅片的良率與穩(wěn)定性。在直徑相同的情況下，大質(zhì)量晶棒意味著長度的增加，從而減少了頭料和尾料的浪費(fèi)，提升了晶棒的整體利用率。此外，投料量的增加也使得在相同價(jià)格的石英坩堝及輔材下產(chǎn)出更多產(chǎn)品，降低了生產(chǎn)成本。這些因素共同為中欣晶圓的量產(chǎn)計(jì)劃奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

三、市場影響與戰(zhàn)略意義

• 市場影響：在全球半導(dǎo)體材料市場中，中欣晶圓的這一技術(shù)突破無疑將提升其市場地位和競爭力。隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和國產(chǎn)替代趨勢的加強(qiáng)，中欣晶圓有望憑借其在12英寸大硅片領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)和產(chǎn)能優(yōu)勢占據(jù)更多市場份額。

• 戰(zhàn)略意義：中欣晶圓堅(jiān)持面向國家半導(dǎo)體行業(yè)的重大戰(zhàn)略需求，以發(fā)展中國半導(dǎo)體材料為己任。在技術(shù)上勇于突破、不斷創(chuàng)新，為大硅片國產(chǎn)化做出了重要貢獻(xiàn)。同時(shí)，公司還積極向國內(nèi)外客戶供應(yīng)高品質(zhì)的正片產(chǎn)品，助力全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

綜上所述，中欣晶圓連續(xù)成功拉制12寸450公斤投料晶棒是其技術(shù)實(shí)力和量產(chǎn)能力的集中體現(xiàn)。隨著公司產(chǎn)能的不斷提升和技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新，中欣晶圓有望在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得更加輝煌的成就。